| 序号 | 股东名称 | 持股数量 | 流通% | 更新日期 |
| 1 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司-陕西省集成电路产业投资基金(有限合伙) | 3756193股 | 4.1568% | 2024-06-30 |
| 2 | 西安中科光机投资控股有限公司 | 3604237股 | 3.9886% | 2024-06-30 |
| 3 | 青岛常安汇富创业投资合伙企业(有限合伙) | 2044653股 | 2.2627% | 2024-06-30 |
| 4 | 马玄恒 | 1833942股 | 2.0295% | 2024-06-30 |
| 5 | 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合伙) | 1669281股 | 1.8473% | 2024-06-30 |
| 6 | 国投高科技投资有限公司 | 1280574股 | 1.4171% | 2024-06-30 |
| 7 | 河南中证开元创业投资基金(有限合伙) | 1271000股 | 1.4065% | 2024-06-30 |
| 8 | 香港中央结算有限公司 | 1066712股 | 1.1805% | 2024-06-30 |
| 9 | 上海浦东发展银行股份有限公司-景顺长城电子信息产业股票型证券投资基金 | 906464股 | 1.0031% | 2024-06-30 |
| 10 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司 | 864224股 | 0.9564% | 2024-06-30 |
| 11 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司－陕西省集成电路产业投资基金(有限合伙) | 3756193股 | 5.461% | 2024-03-31 |
| 12 | 西安中科光机投资控股有限公司 | 3604237股 | 5.24% | 2024-03-31 |
| 13 | 青岛常安汇富创业投资合伙企业(有限合伙) | 2044653股 | 2.973% | 2024-03-31 |
| 14 | 马玄恒 | 1832142股 | 2.664% | 2024-03-31 |
| 15 | 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合伙) | 1669281股 | 2.427% | 2024-03-31 |
| 16 | 中国建设银行股份有限公司－华安宏利混合型证券投资基金 | 1622343股 | 2.359% | 2024-03-31 |
| 17 | 哈勃科技创业投资有限公司 | 1406769股 | 2.045% | 2024-03-31 |
| 18 | 国投高科技投资有限公司 | 1280574股 | 1.862% | 2024-03-31 |
| 19 | 河南中证开元创业投资基金(有限合伙) | 1271000股 | 1.848% | 2024-03-31 |
| 20 | 香港中央结算有限公司 | 1254590股 | 1.824% | 2024-03-31 |
| 21 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司-陕西省集成电路产业投资基金(有限合伙) | 3756193股 | 5.461% | 2024-01-25 |
| 22 | 西安中科光机投资控股有限公司 | 3604237股 | 5.24% | 2024-01-25 |
| 23 | 香港中央结算有限公司 | 2086009股 | 3.033% | 2024-01-25 |
| 24 | 青岛常安汇富创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 2048853股 | 2.979% | 2024-01-25 |
| 25 | 哈勃科技创业投资有限公司 | 2000000股 | 2.908% | 2024-01-25 |
| 26 | 马玄恒 | 1831242股 | 2.662% | 2024-01-25 |
| 27 | 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合伙) | 1669281股 | 2.427% | 2024-01-25 |
| 28 | 国投高科技投资有限公司 | 1280574股 | 1.862% | 2024-01-25 |
| 29 | 河南中证开元创业投资基金(有限合伙) | 1271000股 | 1.848% | 2024-01-25 |
| 30 | 西安炬光科技股份有限公司回购专用证券账户 | 1193000股 | 1.734% | 2024-01-25 |
| 31 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司－陕西省集成电路产业投资基金(有限合伙) | 3756193股 | 5.461% | 2023-12-31 |
| 32 | 西安中科光机投资控股有限公司 | 3604237股 | 5.24% | 2023-12-31 |
| 33 | 青岛常安汇富创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 2048853股 | 2.979% | 2023-12-31 |
| 34 | 哈勃科技创业投资有限公司 | 2000000股 | 2.908% | 2023-12-31 |
| 35 | 马玄恒 | 1830442股 | 2.661% | 2023-12-31 |
| 36 | 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合伙) | 1669281股 | 2.427% | 2023-12-31 |
| 37 | 国投高科技投资有限公司 | 1280574股 | 1.862% | 2023-12-31 |
| 38 | 河南中证开元创业投资基金(有限合伙) | 1271000股 | 1.848% | 2023-12-31 |
| 39 | 太平资管－招商银行－太平资产量化17号资管产品 | 1032092股 | 1.501% | 2023-12-31 |
| 40 | 香港中央结算有限公司 | 995226股 | 1.447% | 2023-12-31 |
| 41 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司－陕西省集成电路产业投资基金(有限合伙) | 3756193股 | 5.495% | 2023-09-30 |
| 42 | 西安中科光机投资控股有限公司 | 2707637股 | 3.961% | 2023-09-30 |
| 43 | 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合伙) | 2360000股 | 3.452% | 2023-09-30 |
| 44 | 深圳市长安汇富创业投资企业(有限合伙) | 2048853股 | 2.997% | 2023-09-30 |
| 45 | 张彤 | 2001200股 | 2.927% | 2023-09-30 |
| 46 | 哈勃科技创业投资有限公司 | 2000000股 | 2.926% | 2023-09-30 |
| 47 | 马玄恒 | 1894749股 | 2.772% | 2023-09-30 |
| 48 | 河南中证开元创业投资基金(有限合伙) | 1645846股 | 2.408% | 2023-09-30 |
| 49 | 张炜 | 1500000股 | 2.194% | 2023-09-30 |
| 50 | 国投高科技投资有限公司 | 1280574股 | 1.873% | 2023-09-30 |
| 51 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司-陕西省集成电路产业投资基金(有限合伙) | 3756193股 | 5.729% | 2023-09-04 |
| 52 | 西安中科光机投资控股有限公司 | 2814237股 | 4.293% | 2023-09-04 |
| 53 | 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合伙) | 2360000股 | 3.6% | 2023-09-04 |
| 54 | 深圳市长安汇富创业投资企业(有限合伙) | 2048853股 | 3.125% | 2023-09-04 |
| 55 | 张彤 | 2001200股 | 3.052% | 2023-09-04 |
| 56 | 马玄恒 | 1907449股 | 2.909% | 2023-09-04 |
| 57 | 河南中证开元创业投资基金(有限合伙) | 1645846股 | 2.51% | 2023-09-04 |
| 58 | 张炜 | 1500000股 | 2.288% | 2023-09-04 |
| 59 | 国投高科技投资有限公司 | 1280574股 | 1.953% | 2023-09-04 |
| 60 | 中国建设银行股份有限公司-华安宏利混合型证券投资基金 | 993587股 | 1.516% | 2023-09-04 |
| 61 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司-陕西省集成电路产业投资基金(有限合伙) | 3756193股 | 5.729% | 2023-08-25 |
| 62 | 西安中科光机投资控股有限公司 | 2814237股 | 4.293% | 2023-08-25 |
| 63 | 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合伙) | 2360000股 | 3.6% | 2023-08-25 |
| 64 | 深圳市长安汇富创业投资企业(有限合伙) | 2048853股 | 3.125% | 2023-08-25 |
| 65 | 张彤 | 2001200股 | 3.052% | 2023-08-25 |
| 66 | 马玄恒 | 1912349股 | 2.917% | 2023-08-25 |
| 67 | 河南中证开元创业投资基金(有限合伙) | 1645846股 | 2.51% | 2023-08-25 |
| 68 | 国投高科技投资有限公司 | 1580974股 | 2.411% | 2023-08-25 |
| 69 | 张炜 | 1500000股 | 2.288% | 2023-08-25 |
| 70 | 中国建设银行股份有限公司-华安宏利混合型证券投资基金 | 966807股 | 1.475% | 2023-08-25 |
| 71 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司-陕西省集成电路产业投资基金(有限合伙) | 3756193股 | 5.696% | 2023-06-30 |
| 72 | 西安中科光机投资控股有限公司 | 2753237股 | 4.175% | 2023-06-30 |
| 73 | 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合伙) | 2360000股 | 3.579% | 2023-06-30 |
| 74 | 深圳市长安汇富创业投资企业(有限合伙) | 2048853股 | 3.107% | 2023-06-30 |
| 75 | 张彤 | 2001200股 | 3.034% | 2023-06-30 |
| 76 | 马玄恒 | 1929949股 | 2.926% | 2023-06-30 |
| 77 | 河南中证开元创业投资基金(有限合伙) | 1645846股 | 2.496% | 2023-06-30 |
| 78 | 国投高科技投资有限公司 | 1590974股 | 2.412% | 2023-06-30 |
| 79 | 张炜 | 1200000股 | 1.82% | 2023-06-30 |
| 80 | 海南春台投资合伙企业(有限合伙) | 901486股 | 1.367% | 2023-06-30 |
| 81 | 西安中科光机投资控股有限公司 | 4336237股 | 6.612% | 2023-03-31 |
| 82 | 张彤 | 3800400股 | 5.795% | 2023-03-31 |
| 83 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司－陕西省集成电路产业投资基金(有限合伙) | 3756193股 | 5.728% | 2023-03-31 |
| 84 | 国投高科技投资有限公司 | 2480974股 | 3.783% | 2023-03-31 |
| 85 | 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合伙) | 2360000股 | 3.599% | 2023-03-31 |
| 86 | 深圳市长安汇富创业投资企业(有限合伙) | 2048853股 | 3.124% | 2023-03-31 |
| 87 | 河南中证开元创业投资基金(有限合伙) | 2001846股 | 3.053% | 2023-03-31 |
| 88 | 马玄恒 | 1978849股 | 3.018% | 2023-03-31 |
| 89 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司 | 1669419股 | 2.546% | 2023-03-31 |
| 90 | 深圳市春台投资企业（有限合伙） | 901486股 | 1.375% | 2023-03-31 |
| 91 | 张彤 | 4701000股 | 7.169% | 2023-01-16 |
| 92 | 西安中科光机投资控股有限公司 | 4374237股 | 6.67% | 2023-01-16 |
| 93 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司-陕西省集成电路产业投资基金(有限合伙) | 3756193股 | 5.728% | 2023-01-16 |
| 94 | 国投高科技投资有限公司 | 3380574股 | 5.155% | 2023-01-16 |
| 95 | 陕西高端装备高技术创业投资基金(有限合伙) | 2445282股 | 3.729% | 2023-01-16 |
| 96 | 深圳南山架桥卓越智能装备投资合伙企业(有限合伙) | 2360000股 | 3.599% | 2023-01-16 |
| 97 | 河南中证开元创业投资基金(有限合伙) | 2201846股 | 3.358% | 2023-01-16 |
| 98 | 马玄恒 | 2090849股 | 3.188% | 2023-01-16 |
| 99 | 深圳市长安汇富创业投资企业(有限合伙) | 2048853股 | 3.124% | 2023-01-16 |
| 100 | 西安高新技术产业风险投资有限责任公司 | 1669419股 | 2.546% | 2023-01-16 |
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